一:
溅射用靶过滤器滤篮技术百科
问题1:什么是溅射靶材?
答:溅射靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等,亦可应用于玻璃镀膜领域,还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。
问题2:磁控溅射的好处在哪?
答:70年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射,必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场,利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。
问题3:关于溅射靶材,镀膜材料类的产品,刚开始接触,如何熟悉产品,从哪方
答:使靶上被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜。磁控溅射一般分为二种:支流溅射和射频溅射,其中支流溅射设备原理简单,在溅射金属时,其速率也快。而射频溅射的使用范围更为广泛,除可溅射。
问题4:溅射靶材的基本信息
答:使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面,被轰击的固体是用溅射法沉积薄膜的原材料,称为溅射靶材。各种类型的溅射薄膜材料无论在半导体集成电路、记录介质、平面显示以及工件表面涂层等方面都得到了广泛的应用。
问题5:溅射和溅射靶材的区别和用途
答:溅射是一个过程名词,溅射靶材:是指可通过电流束缚磁场方向轰击其表面才生离子的材料一般溅射靶材可分为:金属靶材,非金属靶材,陶瓷靶等等。
问题6:蓝式过滤器的工作原理
答:管道在安装时会有其它杂物带入管道,在生产中原材料中也含有杂物。管道里液体经过过滤器时它的污物由过滤器收集到滤网中,在一定的程度时打开壳盖清理滤网即可。
问题7:溅射靶材主要由什么构成?绑定背靶起到什么作用?
答:背靶绑定是指用焊料将靶材与背靶焊接起来主要有三种的方式:压接、钎焊和导电胶靶材绑定常用钎焊,钎料常用In、Sn、In–Sn,一般使用软钎料的情况下,要求溅射功率小于20W/㎝为什么要绑定背靶?1、防止靶材受热不匀碎裂。
问题8:铬靶在磁控溅射过程中表面出现白色或灰黑色颗粒是啥原因,望哪位大侠解
答:基片不干净。或靶材不干净有灰,建议每次做货前洗靶,还有可能炉子不干净。建议每次做货前用吸尘器吸干净。
问题9:袋式过滤器与蓝氏过滤器有什么区别
答:袋式过滤器和蓝式过滤器的区别:1、袋式过滤器采用的是过滤袋来拦截杂质,而篮式过滤器采用的是网蓝来拦截杂质。2、过滤袋可以进行更加精确的过滤,而篮式过滤器是粗过滤。3、与网篮对比之下,过滤袋更换成本比较大,而。
问题10:篮式过滤器和y型过滤器有什么区别
答:一般不用篮式过滤器;篮式过滤器的过滤面积比y形过滤器大得多,所以,在流体中杂质较多的情况下,一般采用篮式过滤器。y型过滤器首选意大利or,深圳市得汛科技是他们在中国的总代理,可以去他们官网看看。
二:
溅射用靶过滤器滤篮技术资料
问题1:磁控溅射镀膜机的靶材怎么起弧
答:新靶先装好,正负极要开路状态。可以用兆欧表测,表针摇到中间位置OK了,靶电源线要接好,当然你也可以用万用表量,检查靶的水路,进出水OK,真空度到达1。0-2PA后开始充氩气,等压强到2。0~3。0-1PA时,点靶。
问题2:生产高纯金属溅射靶材对身体有害吗
答:有靶材中毒的说法,但是靶材中毒指的是靶材受到外界环境影响或者遇到氧化物等致使靶材不能导电等正常使用,不是说靶材对人体有毒。一般靶材对人没有毒的,个别化合物靶材可能对人体接触面有伤害,接触的时候注意隔离。
问题3:磁控溅射,基底偏压、靶材自偏压、极板自偏压的区别?大侠,帮帮忙
答:在射频磁控溅射过程中,由于电子的迁移速度远大于离子的迁移速度,使得正半周期积累到靶上的电子数量远大于负半周期积累到靶材上的离子数量,使得射频磁控溅射过程中建立负的靶材自偏压。基底偏压指的是在实验过程中为了增强膜。
问题4:篮式过滤器对管道流量有影响吗?
答:篮式过滤器对管道流量的影响是阻力增大流量减少,因为篮式过滤器的滤网需要阻止颗粒通过阻力比较大,因此篮式过滤器需要及时进行清理减少阻力。
问题5:真空镀膜磁控溅射设备调灰蓝色要用些什么靶材???而且要不导电,透光率10
溅射用靶过滤器滤篮答:要求好多哦用3/7铝铬靶,透光率没有研究。
问题6:关于磁控溅射靶材的问题
答:另一个方案是射频溅射氧化亚锌陶瓷靶材,这个容易控制溅射后沉积膜层的两元素的比值。但是需要靶材符合两元素的比之条件,另外,在射频溅射过程中,需要严格控制靶材,陶瓷靶溅射过程中,容易断裂。还有就是射频的危害性较大。
问题7:磁控溅射对靶材的要求是什么?
答:金属靶的话,靶面和背板要平整,两者之间要绝缘,靶材和mask之间也要绝缘,金属的纯度要高。
问题8:离子束溅射用靶材什么要求
答:高纯度、高密度、低气体含量;合金靶或陶瓷靶成分准确、尺寸精度高,无裂纹,无孔洞。上海贺利氏提供多种高纯度高致密度靶材,还有专业的技术支持。
问题9:滤芯过滤器的工作原理及技术参数?
溅射用靶过滤器滤篮答:三、精密过滤器的工作原理精密过滤器是采用成型的滤材,原液通过滤材,滤渣留在滤材壁上,滤液透过滤材流出,从而达到过滤的目的。成型的滤材有:滤布、滤网、滤片、烧结滤管、线绕滤芯、熔喷滤芯、微孔滤芯及多功能滤芯。因。
问题10:磁控溅射所用的靶材用哪些类型,形状,溅射对靶材有哪些性能要求_百度
溅射用靶过滤器滤篮答:1靶材短路后靶材成了负载,瞬间就会产生巨大的热量。由于纯铝的熔点很低,只有660摄氏度,不但在外力的作用下靶材变形,局部还会达到熔点,形成溶洞;2。即便靶材不短路,如果冷却系统出现问题铝靶材也容易变形;3磁控溅射。
三 :